・米半導体装置メーカーや研究機関との共創を加速、次世代装置技術の開発強化へ
住友重機械工業は5月26日、米国子会社のスミトモ・クライオジェニクス・オブ・アメリカ（Sumitomo Cryogenics of America）のサンノゼ事業所内に、半導体製造装置向け研究開発拠点「セミコンダクター・サブシステムズ・アンド・コンポーネンツ R&Dセンター（Semiconductor Subsystems and Components R&D Center）」を5月に開設したと発表した。
同社は「半導体」および「ロボティクス・自動化」を重点投資領域に位置付けており、今回の新拠点開設を通じて、米国の半導体装置メーカーや研究機関との共創・協働を強化する。精密ステージ、モーションコンポーネント、ロボット技術分野を中心に、次世代半導体製造装置向け技術の高度化やアプリケーション領域の拡大、顧客課題の早期解決を図る。
新センターは、低振動環境を備えたクリーンルーム型の研究開発施設で、ナノメートル級の位置決め評価や動特性解析など、高度な技術検証が可能。米国パートナーとの共同開発や製品評価を現地で実施できる体制を整えた。
クリーンルームは約150平方メートルの規模で、クリーン度は米国連邦規格209E準拠の「Class 100」、振動基準は最先端ナノ加工に対応可能な「VC-E」を満たす。半導体製造装置向けの高精度な性能評価環境を提供する。
住友重機械工業は、米国西海岸の半導体産業集積地に研究開発拠点を設置することで、現地顧客や研究機関との連携を深め、半導体関連事業の競争力強化につなげる考え。
■施設概要
施設名称：Semiconductor Subsystems and Components R&D Center
所在地：121 Daggett Drive, San Jose, CA 95134, USA
開設時期：2026年5月
運営会社：スミトモ・クライオジェニクス・オブ・アメリカ（Sumitomo Cryogenics of America）
主用途：半導体製造装置向け技術の研究開発・性能評価
対象技術：精密ステージ、モーションコンポーネント、ロボティクス
クリーンルーム面積：1650sqft（約150m2）
クリーン度：Class 100（Federal Standard 209E準拠）
振動基準：VC-E（IEST-RP-CC024準拠）
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