TOTO（北九州市小倉北区）は7月31日、神奈川県茅ヶ崎市の茅ヶ崎工場内に、半導体製造装置向けセラミック製品の研究開発を担う新たな研究開発棟を建設すると発表した。投資額は約170億円で、2026年12月に着工し、2028年4月の竣工を予定する。次世代の静電チャックやAD部材の研究開発を加速するとともに、試作品製造能力を拡充し、開発スピードの向上を図る。
今回の投資は、同社が2026年4月に公表した約300億円規模の成長投資計画の一環。新研究開発棟は敷地面積2,800平方メートル、延べ床面積1万600平方メートルの4階建て鉄骨造で、セラミック事業の研究開発機能を集約・強化する。
研究開発の対象となる静電チャックは、半導体ウエハーを吸着・固定する半導体製造装置の重要部品で、AD部材とともに同社セラミック事業の主力製品。半導体の高性能化や微細化の進展に伴い、これらの部材にも一層の高機能化が求められている。
新施設では、現行製品を上回る性能を持つ次世代製品の研究開発を推進するほか、試作品製造ラインを拡張し、設計から評価までのリードタイム短縮を目指す。また、顧客との連携を強化し、将来の技術ニーズを見据えた先行研究も進める方針だ。
同社は、100年以上にわたり衛生陶器事業で培ってきたセラミック技術を強みとしており、その知見を半導体分野へ展開している。今後も住設事業とセラミック事業のシナジーを活かし、半導体産業への貢献と持続的な成長を目指すとしている。
■プロジェクト概要
事業名：セラミック事業研究開発棟新設計画
事業主体：TOTO株式会社
建設地：TOTO茅ヶ崎工場（神奈川県茅ヶ崎市）
投資額：約170億円
建物概要：敷地面積2,800㎡、延べ床面積10,600㎡、4階建て、鉄骨造
着工予定：2026年12月
竣工予定：2028年4月
目的：半導体製造装置向け静電チャック・AD部材の次世代製品研究開発強化、試作ライン拡張、開発スピード向上
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