島津製作所は11月9日、京都市中京区の三条工場で半導体製造装置向けターボ分子ポンプ（TMP）のめっき加工ラインを増設したと発表した。生成AIの普及や半導体市場の拡大を背景とした需要増加に対応するもので、2026年9月に新ラインの稼働を開始した。さらに2027年夏には追加増設を予定しており、サプライチェーン全体でTMPの生産体制を強化する。
TMPは、内部の金属製ブレード（羽根）を毎分数万回転で高速回転させることで気体分子を排出し、高真空環境を形成する真空ポンプ。半導体製造装置をはじめ、太陽光発電パネルや建材ガラス向けコーティング装置など、高真空環境を必要とするさまざまな製造設備に採用されている。半導体の微細化や高性能化が進展する中で、同ポンプの需要は拡大している。
TMPの製造では、機械加工による部品成形後に主要部品へめっき処理を施す工程がある。島津製作所は今回、主要部品の耐食性向上を目的としためっき加工の新ラインを三条工場に導入したほか、協力会社との連携による加工体制の整備も進めている。設備増強により、めっき工程の処理能力は従来比約2倍に向上した。2027年夏の追加増設完了後には同約2.5倍まで高める計画。
同社は半導体製造装置向けを中心にTMPの生産・サービス体制の強化を進めており、今後も真空技術と計測技術を組み合わせたソリューション提供を通じて顧客ニーズへの対応を図る方針としている。
島津製作所は分析計測機器、医用機器、産業機器、航空機器などを展開する精密機器メーカー。真空機器分野ではターボ分子ポンプを主力製品の一つとして供給している。
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