㈱安川電機は5月28日、半導体ウエハ搬送用クリーンロボットの新たなラインアップとして、同社のACサーボモータ「Σ-7シリーズ」のダイレクトドライブモータを採用したクリーンロボット「SEMISTAR－GEKKO MD124D」を販売開始すると発表した。
これにより、従来機種より高精度（位置決め精度 従来比2倍）・低振動（従来機種比1/6）な半導体ウエハ搬送を実現する。併せて、小型・軽量化し駆動能力や拡張性を高めたクリーンロボット用標準コントローラSR200も開発した。SR200は同社クリーンロボット全般に適用し、クリーンロボットのパフォーマンスを最大限に引き出す。
近年のスマートフォンの製品仕様の進化、IoTの発展に伴うデータセンターの高度化や通信仕様の５G化など技術進化は目覚ましく、これらの技術を支える大きな要素が半導体。半導体の技術革新は、製造プロセスにおけるnm（ナノメートル）レベルの微細化技術や多層化技術により成り立っており、この進化に貢献するウエハ搬送用のクリーンロボットが求められている。
例えば、指定する位置に高精度でウエハを運びたい、ウエハにストレスをかけずに今までと同じ搬送枚数を安全に搬送したい、多数のウエハを収納するために狭いピッチの場所にもウエハを搬送したい、などの要望がある。こういった顧客からの要望に応えるために、より高精度で低振動なクリーンロボットを開発した。
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