・開発～量産～分析の一体化で供給力強化
住友化学（東京都中央区、大阪市中央区）は4月9日、大阪工場（大阪市此花区）において、先端半導体用フォトレジストの供給体制強化に向けた新技術棟の建設を決定したと発表した。EUV（極端紫外線）およびArF（フッ化アルゴン）レジストに対応し、製造プロセス技術、品質評価、分析機能を集約する。2027年度末の完成を予定する。
フォトレジストは半導体の回路パターン形成に用いられる感光性樹脂で、先端ロジックやメモリーの微細化・多層化を支える基幹材料。生成AIの普及やIoT化、データセンター投資の拡大を背景に、高性能化と安定供給への要求が一段と高まっている。
同社はこれまで、ファインケミカル分野で培った有機合成技術を基盤にフォトレジスト事業を拡大。2022年には大阪工場に開発・評価棟を新設し、先端露光機の導入を進めるなど、材料設計から評価までの開発体制を強化してきた。
今回の新棟では、これまで分散していたEUVおよびArFレジストの製造プロセス技術、品質評価、分析機能を一体化。原料評価から出荷までの各工程を高精度に管理する体制を構築し、量産立ち上げの迅速化と品質安定性の向上を図る。これにより、品質信頼性および供給安定性のさらなる向上を目指す。
大阪工場において「開発～量産化～分析」を一気通貫で担う体制を確立することで、グローバルでの安定供給機能を強化する狙いだ。
同社は半導体材料事業を成長ドライバーの一つと位置付け、国内外で積極的な投資を継続。国内工場の能力増強や韓国拠点でのライン新設などを進めており、EUVおよびArFレジストの販売も拡大している。加えて、有機分子レジストなど次世代EUV向け製品の開発も加速している。
■プロジェクト概要
所在地：大阪市此花区春日出中3丁目1番98号
施設内容：先端半導体用フォトレジスト技術棟新設
規模：地上6階建
延べ床面積：約3,200㎡
完成時期：2027年度末予定
対象製品：EUVレジスト、ArFレジスト
主な機能：製造プロセス技術、品質評価、分析機能の集約
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