荏原、コンパクトな設計と高い生成物耐性を備えた燃焼式排ガス処理装置LPCMN型の販売を開始

　荏原製作所は12月9日、半導体製造におけるプロセスガスの無害化処理を行う燃焼式排ガス処理装置LPCMN型の販売を、2025年1月から開始すると発表した。

　半導体製造プロセスでは、さまざまな新しい特殊材料ガスが使われている。それらを安全に無害化処理するだけでなく、その過程で発生する反応性副生成物の発生を抑え、排ガス処理装置の連続稼働時間を伸ばし、生産ラインを停止させないことも求められている。

　荏原は、このようなニーズに対応するため、同社従来製品のTND型よりさらに処理性能・耐久性能を向上させた、新型排ガス処理装置LPCMN型を開発した。