JSR、最先端フォトレジストのグローバル開発・生産体制を拡充

・国内に開発拠点新設、韓国では半導体フォトレジスト用工場を建設

 JSR(東京都港区)は8月30日、グローバルな電子材料事業体制を強化するため、国内における研究開発を拡充すべくフォトレジストの開発拠点を新設するとともに、韓国における活動を強化するため現地法人であるJSR Micro Korea Co., Ltd.(JMK)に半導体フォトレジスト用工場を建設することを決定し、忠清北道並びに清州市と投資協議書を交わしたと発表した。

 JSRは2021年の米国Inpria社買収以降、グローバルに最先端EUV用フォトレジストであるメタルオキサイドレジスト(MOR)の事業化を進めてきた。日本では、JSRの四日市工場内にある精密電子開発センターに加えて、今回、グローバルな顧客対応やパートナー企業と連携しやすい関東エリアに新たなMOR用の研究開発拠点を整備することを決定し、今秋から工事に着手する。

 今回、韓国に建設するのはMORの最終生産工程を担う工場。MORは韓国における大手顧客での採用検討が進んでおり、今回の投資は現地での品質保証能力と製造キャパシティを担保するもの。2026年の稼働開始を見込んでいる。

 引き続き、グローバルにMORを含む最先端フォトレジストの基盤技術開発を強力に推進するとともに、顧客の量産工程確立に貢献していく。

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