サムコ（京都市伏見区）は11月17日、中期経営計画において重点課題と位置付けるクラスターツールシステムの拡販のための研究開発機能をさらに充実させるため、本社周辺に「第三研究開発棟（仮称）」を新設し、2024年12月から運営開始することを決定したと発表した。
サムコは1991年に設立した研究開発センター（京都市伏見区竹田田中宮町94番）で化合物半導体向けのCVD装置、ドライエッチング装置のプロセス開発を行ってきた。近年同社には化合物半導体の研究開発用装置だけでなく、生産用装置の要望が増加してきており、2021年には電子デバイス製造向けクラスターツールシステム「クラスターH™」の販売を開始した。
今回新設を決定した第三研究開発棟では、生産が本格化するSiCパワーデバイス、GaNパワー/RFデバイス、GaAs VCSEL、MEMS、高周波フィルターなどの分野で高度化するニーズに応えるため、最先端の設備を用意する。約180平方メートルのクリーンルームはクラス1,000（米国連邦規格）の清浄度で、ポンプ類はバックヤードに設置し、パーティクルの発生を抑え、生産工場と環境を合わせる。
最新の生産用装置や、走査電子顕微鏡(SEM)、膜厚計などの計測機器を刷新し、効率的かつスピーディな研究開発を進めることができる。クラスターツールシステムの拡販のための開発を重点的に行い、生産工場への参入を狙う。また、計画的に増員を行い、顧客・マーケットのニーズに即応した開発体制で、サムコの研究開発の中核拠点とする予定。現在の研究開発センターの機能は第三研究開発棟に移行する。
第三研究開発棟開設後、現在の研究開発センターには旧式装置などを残し「研修センター」として製品のサポート・サービスのトレーニングを行う場として活用する。また、産学連携拠点として、大学・研究機関との連携なども検討している。
＜第三研究開発棟（仮称）概要＞
所在地：京都市伏見区竹田田中宮町93番（現研究開発センター隣接）
建物概要：地上2階建て、鉄骨造
延床面積：約850平方メートル
建設計画：2024年5月着工、2024年12月完成（予定）
施設構成：研究開発棟（1階：研究施設、2階：事務所）
人員：20～30名
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