・装置共通ユニット化・合理化により、製作期間半減と歩行振動抑制を実現
大成建設と㈱エーエス（東京都墨田区）は11月22日、2009年に共同開発した半導体製造装置向け高性能免震装置「TASSユニット」を改良し、このほど、様々な形状の半導体製造装置に対応でき、短期で納品が可能となる新型TASSユニットを開発したと発表した。免震装置の共通ユニット化と設置架台の合理化により、従来型の免震性能を維持したまま製作期間が従来の半分に短縮され、半導体装置を設置した架台の歩行振動も抑制されるなど、安定した半導体製造が可能となり生産性向上を図ることができる。
地震時の揺れを低減し半導体製造装置の損傷を防ぐTASSユニットは2009年の初適用以来、国内および台湾において既に3,000台以上が採用され、継続的に納入実績を伸ばしている。しかし、従来型TASSユニットは、半導体製造装置の形状や重量配置に合わせて免震装置（支承ユニット）を個別に設計しており、その製作納期が半導体の製造開始に直接影響を及ぼしていた。
そこで両社は、従来型では一体で製作していた、転がり支承と設置架台を分離製作（現場組立）する方式に改良し、転がり支承の共通ユニット化と設置架台の合理化によって、様々なタイプの半導体製造装置に対応できる新型TASSユニットを開発した。
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