荏原、湿式排ガス処理装置G-WS型を発売

　㈱荏原製作所（以下:荏原）は、12月1日、2021年11月より、半導体製造プロセスにおける水溶性ガス処理を対象とした湿式排ガス処理装置G-WS型を新たに発売したと発表した。

１．背景

　半導体製造工程における排ガス処理においては、更にTCO（*1）を削減し、環境負荷の低い処理装置が求められている。このような市場の要求に応えるため、荏原は、水溶性ガスを使用するプロセスに最適化された湿式排ガス処理装置G-WS型を新たに発売した。

２．製品概要

（1）さまざまな生成物対策を盛り込んだ高い信頼性

　生成物をガス流路に固着させない・滞留させない当社独自の生成物対策を結集。

　燃焼式排ガス処理装置開発で10年以上にわたり培った生成物対策技術により、安定稼働とメンテナンス頻度・費用の削減に貢献。

（2）TCOの削減と環境負荷の低減を両立

　湿式排ガス処理装置は低コストで導入可能。(荏原燃焼式排ガス所装置比）燃料や酸素などを使用しないため、低ランニングコスト・低環境負荷でオペレーションを実現。

（3）省スペース

　G-WS型のメンテナンススペースは前面のみ。限られたサブファブ（*2）スペースでも柔軟なレイアウトと省スペースを実現。