ウシオ電機は5月9日、最先端ICパッケージ基板、フレキシブル基板の新たな需要増に対応するため、分割投影露光装置（UX-5シリーズ：画像右）及びロール搬送投影露光装置（UFXシリーズ）の生産能力増強の設備投資を決定したと発表した。
今後、IoTの進展に伴い、大容量かつ高速でのデータ処理に対応したデータセンター向けサーバーの需要増加が見込まれている。一方、スマートフォンを始めとするディスプレイの分野では、OLEDの採用や狭額縁化が進み、COFと呼ばれるフレキシブル基板の需要が増加している。いずれも、採用される基板には高い解像性や重ね合せ精度が求められる。それらの要求を高い生産性で実現する露光装置を増産することで、IoTの進展による豊かな社会づくりに貢献する。
＜設備投資の概要（予定）＞
投資内容：露光装置の製造設備導入及び生産スペースの拡張
増産計画：既に順次生産能力を増強しており、2019年後半より従来比2倍以上とする
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