荏原、新型空冷式ドライ真空ポンプを販売開始

・一般産業用途向け小型・軽量EV-PA型

　㈱荏原製作所は12月10日、2018年12月より分析・医療・食品・コーティング業界における真空排気用途で、よりクリーンな真空環境を生み出すユーザーフレンドリーな新型空冷式ドライ真空ポンプ EV-PA型の販売を開始したと発表した。販売目標は、2019年は1,000台/年、将来的には10,000台/年を目指す計画。

　今回の新製品がターゲットとする分析・医療・食品・コーティングの業界では、清浄な真空環境の実現や真空ポンプのメンテナンス頻度低減などの要求が高まっている。荏原は、真空の質やポンプのメンテナンスインターバルに対して要求が厳しい、半導体業界で培った独自のドライ真空ポンプの技術を生かし、分析・医療・食品・コーティング業界の顧客の要望に応える新製品を開発した。

＜主な特長＞

・油・水分の真空側への逆流が無い。

・非接触シールを採用しており、シール交換不要でメンテナンスインターバルが長い。

・必要なユーティリティは電源のみ。

・重量9kg～21kgと非常に軽量で移動が容易で幅広い用途で使用可能。

・CEマーク・NRTL・SEMI S2に対応。海外でも使用可能。

・排気速度は50～500L/minの3機種。

　ニュースリリース