荏原、約10億円投じて藤沢に実験開発棟V6棟を新設－ドライ真空ポンプ・排ガス処理装置の実験・開発

　㈱荏原製作所は11月13日、精密・電子事業カンパニーの主力製品であるドライ真空ポンプ・排ガス処理装置の実験・開発を行うために、約10億円を投じて新たな実験開発棟V6棟（画像は完成イメージ）を新設すると発表した。これまでの実験設備の2倍以上の面積となる実験開発棟で、2019年6月末に完成する。建設にあたり、10月31日に地鎮祭を行った。

　IoTやAIの広がりを背景にあらゆるものに半導体が使われるようになり産業分野の需要が急速に増えるなど、半導体製造装置市場は拡大傾向にある。さらに、先端研究開発設備、分析装置、医療機器などでもドライ真空ポンプや排ガス処理装置の需要は多様化している。顧客の多種多様な要望に効率的に応えていくための開発設備と体制を築いていく。

　ドライ真空ポンプ及び排ガス処理装置の開発効率向上とスピートアップにより、顧客の要求に合致した製品をタイムリーに継続して市場投入していく。さらに、多方面から需要が高まっているドライ真空ポンプと排ガス処理装置を一体とした排気システムの製品開発も、推進していく。

　荏原は、今後も顧客の要望に応えた高機能な半導体製造装置の提供とサービス&サポート体制の拡充を図り、変化のスピードが速い半導体業界において、顧客ニーズに柔軟に対応し、事業拡大を図っていく

＜V6棟の特長＞

・フロア面積および試験ベンチ（テストスタンド）数を従来の実験設備比で2倍以上に拡張

・顧客の使用環境を再現するプロセスガス導入・処理設備を設置

・新製品の運転・動作を顧客が確認できるデモルームを設置

・ドライ真空ポンプと排ガス処理装置の開発設備を1カ所に集約

・IoT技術を活用した試験データ計測システムの採用

＜V6棟計画概要＞

所在地：神奈川県藤沢市本藤沢4-2-1

施設内容：ドライ真空ポンプ・排ガス処理装置の開発・実験棟

建築面積：約2,245㎡

着工時期：2018年11月

竣工時期：2019年6月末予定

建設費：約10億円

　ニュースリリース