東京エレクトロンは４月25日、半導体製造装置の生産能力拡大を目的とし、製造子会社である東京エレクトロン テクノロジーソリューションズの山梨（藤井）および東北事業所内に新棟（生産棟）を建設すると発表した。
東京エレクトロン テクノロジーソリューションズが開発・製造している成膜装置などの製造装置市場は、技術革新が続き大きな成長が見込まれている。新棟の建設により、市場と顧客の需要に迅速に対応することで、中長期における持続的成長を目指していく。
＜新棟の概要＞
１．山梨（藤井）事業所内
延床面積：32,455㎡
構造：鉄骨造/免震構造
階数：地上4階
着工：2019年1月（予定）
竣工：2020年4月（予定）
建設費用：約130億円
用途：枚葉成膜装置、ガスケミカルエッチング装置、テストシステムの製造
２．東北事業所内
延床面積：31,777㎡
構造：鉄骨造/免震構造
階数：地上4階
着工：2018年10月
竣工：2019年9月(1期工事完了(*))
2020年12月(2期工事完了)
* 生産棟の一部
建設費用：約130億円
用途：熱処理成膜装置の製造
■東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ(株)事業概要
2017年7月に東京エレクトロン山梨(株)、東京エレクトロン東北(株)が合併し、東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ(株)を設立。
従業員数：4,618名(協力会社含む) ＊4月1日現在
本社所在地：山梨県韮崎市藤井町北下条2381-1
事業内容：熱処理成膜装置、枚葉成膜装置、ガスケミカルエッチング装置、テストシステム、FPDプラズマエッチング/アッシング装置の開発・製造
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