■半導体製造装置向け、設置面積を約50%低減
㈱島津製作所は３月27日、半導体ドライエッチング装置に組み込まれるターボ分子ポンプとして最高の排気性能を有する磁気浮上型ターボ分子ポンプ「TMP-5305シリーズ」向けに、設置面積の低減と軽量化を施した専用の小型電源ユニットを開発したと発表した。同社は、この小型電源ユニットを2018年4月から国内外で販売する。価格は、120万円～（税別）。販売計画は、2018年度に国内外で合計100台。
半導体は、AI、IoT関連技術の発達や電子デバイスの高度化にともなって需要が急拡大しており、3D NAND型メモリに代表されるように高積層化が急速に進んでいるため、ウェハーへのエッチング回数も増加している。そこで、エッチング一回あたりの時間を短縮するため、高速な排気が可能なターボ分子ポンプが必要とされており、現在主流の排気速度3,000～4,000リットル/秒クラスよりも排気性能に優れたターボ分子ポンプが求められている。
このような背景のもと、島津製作所は、業界最高速の5,300リットル/秒で排気が可能なターボ分子ポンプ「TMP-5305シリーズ」拡販のため、設置面積を当社従来製品比で約50%削減した専用の電源ユニットを開発した。この小型電源ユニットは、従来の3,000～4,000リットル/秒クラス向け電源ユニットと同じ寸法のラックに収納することが可能。また、半導体業界で普及が進むEtherCAT通信プロトコルにも対応した。
島津製作所は、他社のラインナップには無い排気速度5,000リットル/秒クラスの磁気浮上型ターボ分子ポンプ「TMP-5305シリーズ」を北米や日本、韓国などで展開することで、半導体製造装置市場におけるさらなるシェア拡大を目指す。