CKDは3月16日、圧縮空気や窒素などの流量計測ができる小形流量センサ「ラピフローFSM3シリーズ」を発売すると発表した。
ラピフローFSMシリーズは、生産工程で使用されるガスの流量を計測するセンサで、現行モデルのFSM2シリーズは使いやすさと小型・軽量化が評価されている。工場の集中管理、予知保全のためのIoT化や多品種生産に対応するため、FSM3シリーズでは通信機能とガス種切替機能を追加した。
標準価格は、樹脂ボディ:14,690~70,110円(税抜)、ステンレスボディ:57,020~129,550円(税抜)、例:樹脂ボティ、液晶表示一体タイプ、流量レンジ1000リットル/分 21,620円(税抜)。販売計画は、2018年度3億円、2020年度10億円。
<主な用途>
(1)電子部品の吸着搬送/(2)半導体製造装置の窒素流量管理
(3)溶接時の酸化防止のためのシールドガス管理
(4)食品製造装置の酸化防止のための窒素充てん量管理
(5)一般産業装置の空気消費量管理