東芝マテリアルと京セラは6月7日、窒化物セラミック部品の開発・製造に関する本格的な協業開始に合意したと発表した。
自動車や鉄道において省エネルギー対応のニーズが高まる中、パワー半導体における放熱・絶縁部品として、熱伝導性、機械的特性等に優れた窒化物セラミックスの需要が拡大している。また、半導体製造装置においても、半導体製造プロセスの精密温度制御化や高温化に伴い、窒化物セラミックスの採用が進むものと見込まれている。
両社は、今回の協業を通して、東芝マテリアルが持つ窒化物セラミックスに関する材料技術と、京セラが持つセラミックスの特殊加工技術を融合させることにより、高い放熱特性を持つパワー半導体用部品や高温での精密温度制御が可能な半導体製造装置用部品など、従来技術の延長では実現できない高機能部品を市場投入し、セラミック市場における競争力の確保を目指す。
両社は、2014年よりパワー半導体や半導体製造装置用部品に関する共同開発を進めてきたが、開発試作品に関して良好な結果が得られたことから、本格的な協業を開始することで合意した。この合意により、両社は、設備投資の共同実施、ワーキングチームの編成によって、開発・製品化を加速するとともに、両社のシナジーによるさらなる協業の可能性を検討していく。