・高スループットと高精度検出を実現
㈱日立ハイテクは12月6日、半導体生産ラインにおいてパターン付ウェーハ表面上の異物や欠陥を検査する暗視野式ウェーハ欠陥検査装置「DI4600」)を発売すると発表した。
これにより、迅速かつ高精度な半導体製造ラインの状態管理を可能にし、今後も半導体の生産量が拡大し続けると予想される中、顧客の生産現場における歩留まり向上およびコスト競争力強化に貢献していく。
詳細は、ニュースリリース
・高スループットと高精度検出を実現
㈱日立ハイテクは12月6日、半導体生産ラインにおいてパターン付ウェーハ表面上の異物や欠陥を検査する暗視野式ウェーハ欠陥検査装置「DI4600」)を発売すると発表した。
これにより、迅速かつ高精度な半導体製造ラインの状態管理を可能にし、今後も半導体の生産量が拡大し続けると予想される中、顧客の生産現場における歩留まり向上およびコスト競争力強化に貢献していく。
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