日立ハイテク、高感度・高スループットを両立したウェーハ表面検査装置「LS9600」を発売

・歩留まり向上、検査コスト削減に貢献するインラインウェーハ表面検査装置

　㈱日立ハイテクは12月13日、パターンなしウェーハ表面における異物や欠陥を検査する「LS9600」を発売すると発表した。製品は、新規採用の高出力・短波長レーザーなどを搭載することにより、最先端半導体デバイス量産に必要な感度におけるスループット性能が、従来製品と比較して約2.6倍向上した。日立ハイテクは、同製品の提供を通して、顧客の半導体デバイス量産における歩留まり向上、および検査コスト削減に貢献していく。

■新製品開発の背景
　パターンなしウェーハ検査装置は、半導体デバイス製造装置の異物や欠陥の管理のために、パターンなしウェーハを使った状態管理(清浄度)などで使用される。半導体の微細化に伴い、製造工程の歩留まりに影響を与えるキラー欠陥(Defect of Interest、以下DOI)のサイズも、より微小になっている。それに伴い、パターンなしのウェーハ全面で20nm以下のDOIを検出することが可能な高感度検査の必要性が高まっている。さらには、歩留まり向上のための高感度検査に加えて、検査コスト低減につながる高スループット化も強く求められている。

　詳細は、ニュースリリース