東京エレクトロン (TEL、東京都港区) は3月31日、昨今の半導体市場の需要拡大に対応するため、製造子会社である東京エレクトロン九州 合志事業所 (熊本県) に開発棟を建設する発表した。
なお、新開発棟は2023年春の着工、2024年秋の竣工を予定してる。
<新棟の概要>
所在地:熊本県合志市福原1-1
延床面積:約24,200㎡(予定) *付帯設備エリア除く
構造:鉄骨造/全免震構造
階数:地上3階(一部4階)
着工:2023年春(予定)、竣工:2024年秋(予定)
建設費用:約300億円
用途:コータ/デベロッパ、サーフェスプレパレーションなど半導体製造装置の開発
<東京エレクトロン九州 事業概要>
本社 (合志事業所) :熊本県合志市福原1-1
事業所:合志、大津
事業内容:コータ/デベロッパ、サーフェスプレパレーション装置、FPDコータ/デベロッパの開発・製造
画像:新棟完成予想図