コーティング加工は、金属製品の長寿命化・性能向上などを目的に、幅広い産業で活用されている。近年では特に、炭素を主成分とする非晶質のカーボン物質膜であるダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜が、その高耐摩耗性、低摩擦性などから、アルミ切削用ドリルや、半導体・紡績機械、金型、自動車部品、プラスチック、ガラスレンズなどに幅広く用いられている。そのため、DLC成膜装置の高品質化・高速化のニーズが一段と高まっている。
不二越は、1980 年代に主に工具のコーティングを開始し、以来、自社でコーティング装置を開発・製造してきた。
<狙いの市場>
半導体分野:半導体製造装置のバルブ、継手、パイプ内面などの耐腐食化、耐摩耗化
紡績分野:紡績機械のノズル内面の耐摩耗化
金型分野:金型の耐摩耗化、耐疑着化
詳細は、ニュースリリース