IoTやAIの広がりを背景にあらゆるものに半導体が使われるようになり産業分野の需要が急速に増えるなど、半導体製造装置市場は拡大傾向にある。さらに、先端研究開発設備、分析装置、医療機器などでもドライ真空ポンプや排ガス処理装置の需要は多様化している。荏原は顧客の多種多様な要望に効率的に応えていくための開発設備と体制を築いていく。
ドライ真空ポンプ及び排ガス処理装置の開発効率向上とスピートアップにより、顧客の要求に合致した製品をタイムリーに継続して市場投入していく。さらに、多方面から需要が高まっているドライ真空ポンプと排ガス処理装置を一体とした排気システムの製品開発も、推進していく。
<概 要>
所在地:神奈川県藤沢市本藤沢4-2-1
施設内容:ドライ真空ポンプ・排ガス処理装置の開発・実験施設
建築面積:約2,245㎡ 地上2階建
建設費:約10億円