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ウシオ電機、投影露光装置の生産能力を従来比2倍に増強

 ウシオ電機は5月9日、最先端ICパッケージ基板、フレキシブル基板の新たな需要増に対応するため、分割投影露光装置(UX-5シリーズ:画像右)及びロール搬送投影露光装置(UFXシリーズ)の生産能力増強の設備投資を決定したと発表した。

 今後、IoTの進展に伴い、大容量かつ高速でのデータ処理に対応したデータセンター向けサーバーの需要増加が見込まれている。一方、スマートフォンを始めとするディスプレイの分野では、OLEDの採用や狭額縁化が進み、COFと呼ばれるフレキシブル基板の需要が増加している。いずれも、採用される基板には高い解像性や重ね合せ精度が求められる。それらの要求を高い生産性で実現する露光装置を増産することで、IoTの進展による豊かな社会づくりに貢献する。

<設備投資の概要(予定)>

投資内容:露光装置の製造設備導入及び生産スペースの拡張

設置場所:御殿場事業所静岡県御殿場市)*画像左

増産計画:既に順次生産能力を増強しており、2019年後半より従来比2倍以上とする

 ニュースリリース

 

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