金属製品の長寿命化・性能向上などを狙いに、幅広い産業分野でコーティング加工が行われている。特に、炭素を主成分とする非晶質のカーボン硬質膜であるダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜の需要は、耐摩耗性・非凝着性・低摩擦性から、アルミ切削用ドリルなどの工具や、プラスチックやガラスレンズ、アルミ部品向けの金型、クラッチプレートやピストンリングなどの自動車部品にも広く用いられ、年率10%を超えるスピードで市場規模が拡大し、DLC成膜装置の高品質化・高速化のニーズも高まっている。
金属製品の長寿命化・性能向上などを狙いに、幅広い産業分野でコーティング加工が行われている。特に、炭素を主成分とする非晶質のカーボン硬質膜であるダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜の需要は、耐摩耗性・非凝着性・低摩擦性から、アルミ切削用ドリルなどの工具や、プラスチックやガラスレンズ、アルミ部品向けの金型、クラッチプレートやピストンリングなどの自動車部品にも広く用いられ、年率10%を超えるスピードで市場規模が拡大し、DLC成膜装置の高品質化・高速化のニーズも高まっている。