安川電機は2013年11月にACサーボドライブΣ-7(シグマ・セブン)シリーズを販売開始し、その性能と使いやすさにより多くの顧客に好評を得ている。今回の新製品の特長は、ガントリ駆動に最適な3つの機能により、ガントリ駆動において最適なソリューションを提供する。
主な用途は、半導体製造装置、液晶製造装置、電子部品実装装置、電子部品製造装置、検査装置・計測機器、塗布装置、印刷機などガントリ機構を採用している装置に適用できる。
<主な特長>
(1)機差により生じる無駄なトルクを抑える「位置補正テーブル機能」
ガントリ機構の2軸間において、部品の公差や組み立て精度に由来する機差が生じる場合がある。そのような場合、位置補正テーブル機能を用いて、サーボパック内のテーブルに設定された補正量をもとに位置を補正しながら駆動することで、機差により生じる無駄なトルクを抑えることができる。
(2)アラーム発生時の機械破損を防止するための「協調停止機能」
正常時は軸毎の制御を行いながら、互いにアラームが発生していないかを監視し合う。一方の軸がアラームで停止する場合、もう一方の軸はアラーム発生軸の位置を目標位置とする位置制御を行うことで、2軸が協調停止する。
(3)機械ねじれを検出するための「軸間位置偏差過大検出機能」
サーボパックの内部処理にて最短周期で軸間位置偏差を監視し、パラメータに設定されたしきい値を超えた場合にアラームまたはワーニングを検出する。これによりアームのねじれを未然に防止できる。